发明名称
摘要
申请公布号 JPH0494514(U) 申请公布日期 1992.08.17
申请号 JP19900405240U 申请日期 1990.12.28
申请人 发明人
分类号 G01B7/00;G01D5/245;G01R33/00;H01L43/08;(IPC1-7):G01D5/245 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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