| 主权项 |
1. 一种配有吸气管之探针卡,其特征为具有:可和测定对象物的电极垫片相接触,而有所定支数之探针;安装该探针用之基板;及装在该基板之吸气管,而上述吸气管设有连接于吸尘器的吸引部,咳吸引部的设置位置系面临于上述基板上所设之开口部位者。2. 如申请专利范围第1项之配有吸气管之探针卡,其中吸引部系固定在基板上者。3. 如申请专利范围第1项之配有吸气管之探针卡,其中吸引部系与基板成为一体者。4. 如申请专利范围第1.2或3项之配有吸气管之探针卡,其中开口部位系为使照射于测定对象物的雷射光通过之部分者。图示简单说明:图1:本发明一实施例的配有吸气管之探针卡概略平面图。图2:本发明一实施例的配有吸气管之探针卡在于使用状态时之概略侧面图。图3:本发明一实施例的配有吸气管之探针卡与雷射微调器的探针卡架之关系概略斜视图。图4:本发明一实施例的配有吸气管之探针卡的吸引部与开口部位之关系图,其系为图2中A部位之概略断面放大图。图5:本发明一实施例的配有吸气管之探针卡的吸引部与开口部位之关系所产生的效果说明用概略断面图。图6:本发明另一实施例的配有吸气管之探针卡的基板开 |
