| 主权项 |
1.一种将在晶圆中排列形成之复数个晶粒,以夹头一个一个予以拾取之晶圆之晶粒之拾取方法,其特征系在:由晶圆之外径设定一定之反转范围及反转晶粒数,朝拾取方向依序检出及拾取晶粒,当在上述反转范围内,当反转晶粒数检出镜面晶粒或与镜面晶粒晶类似之晶粒时,朝次一拾取的次列方向作一间距移动,检出该时之第一晶粒,当该第一晶粒并非镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,朝该列之拾取方向的外径方向依序检出及拾取晶粒,当反转晶粒数检出镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒时,系将拾取方向反转,检出与上述第一晶粒邻接之内侧晶粒并予拾取,而后再藉该反转之拾取方向的移动,依序检出及拾取晶粒,朝上述次一拾取的次列方向作一间距移动,检出上述第一晶粒,当该晶粒为镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,系改变拾取方向依序检出,当并非镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,予以拾取者。2.一种将在晶圆中排列形成之复数个晶粒,以夹头一个一个予以拾取之晶圆之晶粒之拾取方法;其特征系在:由晶圆之外径设定一定之反转范围、晶圆之外径、晶粒之拾取方向之间距及反转晶粒数,朝拾取方向依序检出及拾取晶粒,当在上述反转范围内,一反转晶粒数检出镜面晶粒或与镜面晶粒相类似之晶粒时,朝次一拾取的次列方向作一间距移动,检出该时之第一晶粒,当该第一晶粒并非镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,朝拾取方向之外径方向依序检出及拾取晶粒,当一反转晶粒数检出镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒时,反转拾取方向,检出与上述第一晶粒邻接之内侧的晶粒并予拾取,而后再藉该反转之拾取方向的移动,依序检出及拾取晶粒,朝上述次一之拾取欸列方向作一间距移动,检出上述第一晶粒,当该晶粒为镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,反转拾取方向依序作检出,当并非镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,进行拾取,在拾取方向外径大的部份,由拾取方向朝其次之拾取的次列方向,作一间距移动之条件,不拘是否为镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒,在位于一定之外径附近时,系朝次拾取之次列方向作一间距移动,又,不拘在次一拾取之次列方向移动时,其晶粒是否为镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒,将拾取方向反转,作依序检出,在并非为镜面晶粒或与镜面晶粒类似之晶粒的场合,进行拾取者。图示简单说明:图一系本发明晶圆之晶粒拾取方法的第一实施形态之平面说明图。图二系本发明晶圆之晶粒拾取方法的第二实施形态之平面说明图。 |
