| 主权项 |
1.一种IC试验方法,属于具备:藉将输出端子之状态可设成高阻抗模态之激发器,在被试验IC之各端子施加试验图形信号,实行被试验IC之功能试验的功能试验装置,及在被试验IC之各端子施加所定电压之状态下,测定流在被试验IC之各端子之电流的直流试验装置所构成的IC试验装置之IC试验方法,其特征为:上述功能试验装置实行上述被试验IC之功能试验中,将上述直流试验装置之感测点经由电阻连接于上述被试验IC之端子,在上述直流试验装置之输出电压设定在所定电压之状态下,将上述功能试验装置之激发器控制在高阻抗模态,在该状态下藉由上述直流试验装置测定流在上述被试验IC之端子的漏泄电流,而在实行功能试验中实行直流试验项目中之漏泄电流测定者。2.一种IC试验装置,其特征为:A藉将输出端子之状态可设成高阻抗模态之激发器,在被试验IC之各端子施加试验图形信号,实行被试验IC之功能试验的功能试验装置,及B在被试验IC之各端子施加所定电压之状态下,测定流在被试验IC之各端子之漏泄电流的直流试验装置,及C连接于该直流试验装置之感测点与被试验IC之端子之间的电阻,及D上述功能试验装置实行功能试验中,在上述直流试验装置之感测点输出所定电压的第1控制机构,及E在完成该第1控制机构之控制动作之时刻,将上述功能试验装置的激发器之输出端子控制成高阻抗状态的第2控制机构,及F在激发器之输出端子被控制成高阻抗模态之状态下,在上述直流试验装置,实行测定流在上述被试验IC之端子之漏泄电流之动作的电流测定机构,所构成者。3.如申请专利范围第2项所述之IC试验装置,其中,上述直流试验装置系由所定电压给于非倒相输入端子而在输出端子输出所定电压,将该输出电压经电流检出用电阻器输出至感测点,并将该感测点之电压反馈至倒相输出端子的演算放大器,及测定发生于上述电流检出用电阻器之电压并测定流在被试验IC之端子之漏泄电流値的电流测定机构所构成,将上述感测点经由电阻器连接于被试验IC之端子的构成者。4.如申请专利范围第2项所述之IC试验装置,其中,上述直流试验装置系由具有非倒相输入端子与倒相输入端子的演算放大器,及一端侧连接于该演算放大器之输出端子,另一端侧连接于电流输出端子的电流检出用电阻器;及将输出于电流输出端子之电压给于电压检出端子的第1开关,及连接于上述电流输出端子与电压检测端子之间的保护电阻器,及将上述电压检出端子之电压反馈于上述演算放大器之倒相输入端子的反馈电路,及由将上述电压检出端子之电压经感测点给于被试验IC之端子的第2开关与电阻器所构成的串联电路,及连接于上述电流输出端子与上述感测点之间的第3开关,及测定发生于上述电流检出用电阻器之电压并测定流在上述被试验IC之端子之电流的电流测定机构所构成,在功能试验中测定流在上述被试验IC之端子之漏泄电流的模态,将上述第1开关与第2开关设定在导通状态,从上述功能试验装置观看直流试验装置之阻抗藉由上述电阻器看似高阻抗,而在实行于非功能试验时之直流试验模态,将上述第1开关控制成断开之状态,而将第2开关与第3开关控制成导通之状态,并将上述电流输出端子直接连接于上述感测点及被试验IC之端子者。图式简单说明:第一图系表示采用依本发明之IC试验方法的IC试验装置之一实施例的方块图。第二图系表示用于说明依本发明之IC试验方法的时序图。第三图系表示用于说明以往之IC试验装置之概要的方块图。第四图系表示用于说明使用于表示在第三图的IC试验装置之功能试验装置之构成的方块图。第五图系表示用于说明使用于表示在第三图的IC试验装置之直流试验装置之构成的连续图。第六图系表示说明实行直流试验项目中之漏泄试验时之被试验IC的端子之情形的连接图。第七图系表示用于说明以往之直流试验之情形的时序图。 |
