| 主权项 |
1.一种「数位光斑变形量测系统」,该量测系统由麦克森剪切机构、数位影像系统及照明机构组成,麦克森剪切机构由二个反射镜、二个透镜及一个立体分光镜固设于一底板上,并配合一进行取像程序之镜头,而数位影像系统由数位相机及处理系统组成,配合由雷射及光束放大器组成之照明机构而组成一量测系统。2.如申请专利范围第1项所述「数位光斑变形量测系统」其中麦克森剪切机构之剪切量测方式,可先于平板上置一测试圆,而光源投射之白色光源另得测试圆影像,再藉由二圆之圆心位置及半径大小以测得剪切量。3.如申请专利范围第1项所述「数位光斑变形量测系统」,其中光源可为雷射光源。图式简单说明:第一图系本发明数位光斑变形量测系统之平面图。第二图系本发明以雷射光为光源得到之测试圆影像图。第三图系本发明以雷射光为光源沿箭头方向之测试圆灰阶分布图。第四图系本发明以白光为光源所得之测试圆之剪切影像图。第五图系本发明以白光为光源沿箭头方向之测试圆灰阶分布图。第六图系本发明测试圆之剪切影像示意图。第七图系本发明经中间値滤波后之测试圆影像。第八图系本发明经中间値滤波后沿箭头方向之测试圆灰阶分布图。第九图系本发明测试圆之边缘检测影像图。第十图系本发明边缘检测影像沿箭头方向之灰阶分布图。第十一图系本发明照明不均之测试圆剪切影像图。第十二图系本发明照明不均之测试圆沿箭头方向上之灰阶分布图。第十三图系本发明进行量测之光路径图。第十四图系本发明利用影像相加所得到之数位剪像图。第十五图系本发明利用影像相减所得到之数位剪像图。 |
