| 主权项 |
1.一种晶圆匣传输系统,用于将晶圆匣从一制程设备传输至另一制程设备,该系统包含有:一无线传输/接收模组,用于接收来自一主机的多个晶圆匣传输要求信号并传输经处理的传输要求信号;一控制器,用于处理从该无线传输/接收模组接收的该等晶圆匣传输要求信号并产生多个不同控制信号;连接于该控制器的多个机械臂驱动单元,使得多个机械臂可响应于该等控制信号同时传输不同的该等晶圆匣;及随该等多个机械臂安装的一驱动单元,其移动至由该主机指定的该另一制程设备。2.依据申请专利范围第1项之系统,其中该等机械臂有至少两个。3.依据申请专利范围第2项之系统,其中该等机械臂驱动单元有至少两个。4.一种用于传输晶圆匣的方法,其包含下列步骤:接收来自一主机的多个晶圆匣传输要求信号;依据所接收的该等晶圆匣传输要求信号将一传输机械臂移动至一指定制程设备;将该等多个晶圆匣传输要求信号中之一传输到该等多个机械臂中之一,及将晶圆匣传输要求信号传输未有至该晶圆匣传输要求信号被传输到来的该等多个机械臂中之其余者,并分别由该一机械臂和由该等其余机械臂实施传输。5.依据申请专利范围第4项之方法,其中在实施传输的该步骤中,该等多个机械臂同时从一晶圆匣传输装置将等该晶圆匣卸下至该指定制程设备。6.依据申请专利范围第4项之方法,其中在实施传输的该步骤中,该等多个机械臂同时从该晶圆匣传输装置将该等晶圆匣装载至该指定制程设备。7.依据申请专利范围第6项之方法,其中在实施传输的该步骤中,该等机械臂部分地从该晶圆匣传输装置将该等晶圆匣卸下至该指定制程设备,且该等机械臂中之其余者从该指定制程设备将该等晶圆匣装载至该晶圆匣传输装置。8.依据申请专利范围第5或6项之方法,其在传输多个晶圆匣传输要求信号之该步骤后,更包含下列步骤:由该等控制器卡匣阶台指定使得该等多个机械臂分别相对于在该指定制程设备中形成的多个卡匣阶台且针对该等卡匣阶台装载或卸下该等晶圆匣。9.依据申请专利范围第8项之方法,其中该指定制程设备判定该等晶圆匣是否被正确地放置在该等多个卡匣阶台中,如果该等晶圆匣经判定系不正确地放置,则该制程设备作出一个连锁动作以制止一传输程序被进一步进行,并显示一错误讯息。10.依据申请专利范围第9项之方法,其更包含下列步骤:如果该等晶圆匣经判定系正确地放置,则由该指定制程设备将一晶圆匣装载/卸下要求信号传输至该控制器,使得该等晶圆匣可被装载/卸下。11.依据申请专利范围第10项之方法,其更包含下列步骤:由该控制器将表示该等多个晶圆匣要被装载/卸下的一传输通知信号传输至经指定制程设备。12.依据申请专利范围第11项之方法,其更包含下列步骤:由该指定制程设备将表示该等晶圆匣已备妥要被装载/卸下的一装载/卸下备妥信号传输至该控制器。13.依据申请专利范围第4项之方法,其在实施传输之该步骤后,更包含下列步骤:由该指定制程设备将表示该等晶圆匣之装载/卸下已完成的一晶圆匣装载/卸下完成信号传输至该控制器。图式简单说明:第一图说明一传统晶圆匣传输系统;第二图更详细说明一传统晶圆匣传输系统;第三图系一制程设备和一个AGV系统之一透视图;第四图说明依据本发明的一晶圆匣传输系统;第五图说明依据本发明安装有多个机械臂的一个AGV系统;第六图更详细说明在第四图中所示的AGV系统;第七图系说明依据本发明使用一晶圆匣传输系统的一传输方法之一流程图;及第八图说明依据本发明的一传输方法之晶圆匣装载/卸下时序。 |
