在真空中生成金刚石般碳涂层的方法

摘要

一种在真空中生成金刚石般碳涂层的方法,包括以下步骤:将部件表面预处理;将部件放入真空室中;用加速离子处理部件的表面;在经处理的部件表面涂上一亚表层;从阴极斑点对石墨阴极进行电弧真空溅射从而生成碳等离子体;将碳等离子体的离子加速;将所生成的碳等离子体沉积在部件表面从而生成金刚石般的碳涂层。采用脉冲电弧放电在石墨阴极的端表面激发一组阴极斑点,所述的斑点以10－30米每秒的速度沿阴极的端表面移动,生成离子能量为40－100电子伏特的碳等离子体,等离子体中离子浓度为10¹²－10¹⁴每立方厘米,部件在真空室中电绝缘。以及控制脉冲循环频率来维持部件的温度在200－450K。

主权项

1、一种在真空中生成金刚石般碳涂层的方法，该方法包括以下步骤：将部件表面预处理；将部件放入真空室中；用加速离子处理部件的表面；在经处理的部件表面涂上一亚表层；从阴极斑点对石墨阴极进行电弧真空溅射从而生成碳等离子体；将碳等离子体的离子加速；将所生成的碳等离子体沉积在部件表面从而生成金刚石般的碳涂层；其特征在于：为了生成、加速和沉积碳等离子体，所述的方法包括如下步骤：采用脉冲电弧放电在石墨阴极的端表面激发一组阴极斑点，所述的斑点以10-30米每秒的速度沿阴极的端表面移动，生成离子能量为40-100电子伏特的碳等离子体，等离子体中离子浓度为1012-1014每立方厘米，部件在真空室中电绝缘；以及控制脉冲循环频率来维持部件的温度在200-450K。