| 摘要 |
본 발명은 기판 처리 시스템을 제공한다. 본 발명의 기판 처리 시스템은 기판 처리 장치; 공정용 기판들이 적재된 기판용 수납용기를 상기 기판 처리 장치로 이송시키는 물류 자동화 장치; 및 상기 물류 자동화 장치에 의해 상기 기판용 수납용기가 상기 기판 처리 장치의 로드포트에 도착하기 전에 상기 기판 처리 장치에서 테스트 기판을 이용한 자동 검사 공정 진행이 이루어지도록 상기 기판용 수납용기가 도착하기까지 걸리는 아이들 타임을 상기 기판 처리 장치로 제공하는 유저 인터페이스를 포함할 수 있다. |
