| 摘要 |
소정 형상의 플레이트 (50) 가 착탈 가능하게 탑재된 이동체 (WST) 의 위치를 그 이동 좌표계를 규정하는 계측 장치 (18 등) 에 의해 계측하면서, 플레이트 (50) 의 일부를 얼라인먼트계 (ALG) 에 의해 검출함과 함께, 그 검출 결과와 대응하는 상기 계측 장치의 계측 결과에 기초하여 플레이트 (50) 의 외주 에지의 위치 정보를 취득한다. 이 때문에, 그 이동체 (WST) 상에 위치 계측용 마크 (기준 마크) 등이 존재하지 않더라도, 플레이트의 외주 에지의 위치 정보에 기초하여, 플레이트의 위치, 즉, 이동체의 위치를 상기 계측 장치에 의해 규정되는 이동 좌표계 상에서 관리할 수 있게 된다. |
