惰性气体注入设备及惰性气体注入方法

摘要

本发明提供一种惰性气体注入设备。惰性气体注入设备具备：注入装置（N），设在支承收存基板（W）的容器（50）的支承部上，在从容器（50）的排气口（50o）使容器（50）内的气体向外部排出的状态下，从容器（50）的供气口（50i）将惰性气体向容器（50）的内部注入；控制装置（H），控制注入装置（N）的动作。注入装置（N）构成为可变更惰性气体的供给流量；控制装置（H）构成为，在向支承在支承部上的容器（50）供给惰性气体时，控制注入装置（N）的动作，以使供给流量朝向目标流量逐渐增加。

主权项

一种惰性气体注入设备，具备：注入装置，设在支承收存基板的容器的支承部上，以从上述容器的排气口使上述容器内的气体向外部排出的状态，从上述容器的供气口将惰性气体向上述容器的内部注入；控制装置，控制上述注入装置的动作；其特征在于，上述注入装置构成为可变更上述惰性气体的供给流量；上述支承部是保管上述容器的保管搁板的收存部；作为目标流量，设定初始目标流量和比该初始目标流量少的稳态目标流量；上述控制装置构成为，当向支承在上述支承部上的上述容器供给上述惰性气体时，控制上述注入装置的动作，以在将上述供给流量调整为上述初始目标流量后将上述供给流量调整为上述稳态目标流量，并且在将上述供给流量向上述初始目标流量调整时，控制上述注入装置的动作，以使上述供给流量朝向上述初始目标流量逐渐增加。