| 主权项 |
1.一种微刻纹表面的保形披覆之方法,包含下列步骤:(a)形成一蒸气,此藉由将一披覆材料单体接收通入一瞬间蒸发壳体中,在一蒸发表面上将所述披覆材料单体蒸发,并将所产生的蒸气由一蒸气输出部释出;(b)由所述蒸气制作单体电浆,此藉由让所述蒸气通过邻近一辉光放电电极病产生辉光放电,以由蒸气制作该电浆;及(c)使所述单体电浆凝结在微刻纹表面上而成一凝结物,并且在所述凝结物流动之前使其聚合,藉以保形披覆所述的微刻纹表面。2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中所述微刻纹表面系邻近该辉光放电电极,并且被施加一电性偏压,以接收低温凝结其上的单体电浆。3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中所述辉光放电电极系位于一辉光放电壳体内,壳体具有一蒸气输入部靠近该蒸气输出部,所述辉光放电壳体和辉光放电电极的温度维持在蒸气的露点之上,且所述基板系位于单体电浆的下游,且呈电性悬浮状态,以接收低温凝结其上的单体电浆。4.如申请专利范围第1项所述之方法,其中微刻纹表面系邻近该辉光放电电极并且电性接地,以接收低温凝结其上的单体电浆。5.如申请专利范围第1项所述之方法,其中所述之披覆材料系选自(甲基)丙烯酸酯、烯类、炔类、苯乙炔以及其组合。6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中所述微刻纹表面系处于被冷却的状态。7.如申请专利范围第1项所述之方法,更包含添加额外气体。8.如申请专利范围第7项所述之方法,其中所述额外气体是一种稳定气体。9.如申请专利范围第7项所述之方法,其中所述额外气体是一种反应气体。10.一种在真空腔中于微刻纹表面做保形披覆的方法,包含下列步骤:(a)将一披覆材料单体瞬间蒸发以形成一蒸气;(b)让所述蒸气通往一辉光放电电极,而由所述蒸气产生辉光放电单体电浆;及(c)使所述辉光放电单体电浆凝结在微刻纹表面上成一凝结物,并于其上交联该辉光放电电浆,所述交联的进行系导因于辉光放电电浆所生成之自由基以进行自我固化,所述交联系在所述凝结物流动之前进行,藉以保形披覆所述微刻纹表面。11.如申请专利范围第10项所述之方法,其中基板系邻近该辉光放电电极并且施加一电性偏压,以接收低温凝结其上的单体电浆。12.如申请专利范围第10项所述之方法,其中所述该辉光放电电极系位于一辉光放电壳体内,壳体具有一蒸气输入部靠近该蒸气输出部,所述辉光放电壳体和辉光放电电极的温度维持在蒸气的露点之上,所述基板系位于单体电浆的下游,而呈电性悬浮状态,以接收低温凝结其上的单体电浆。13.如申请专利范围第10项所述之方法,其中基板系邻近该辉光放电电极并且电性接地,以接收低温凝结其上的单体电浆。14.如申请专利范围第10项所述之方法,其中所述之披覆材料单体系苯乙炔。15.如申请专利范围第10项所述之方法,其中所述微刻纹表面系处于被冷却的状态。图式简单说明:第一图a为先前技艺中,将辉光放电电浆产生器与无机化合物及瞬间蒸发器结合的剖面示意图。第一图b为(甲基)丙烯酸酯分子的化学结构式。第二图a是非保形披覆的示意图(先前技艺)。第二图b是根据本发明方法之保形披覆的示意图。第三图为本发明中,将辉光放电电浆产生器与瞬间蒸发器结合之装置的剖面示意图。第三图a为本发明装置的端剖面示意图。第四图为本发明中以基板做为电极的剖面示意图。第五图a为包括苯乙炔的化学结构式。第五图b为三苯基二胺衍生物的化学结构式。第五图c为二氢啶二酮的化学结构式。 |
