| 主权项 |
2.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该外燃型气体注入器之材质为石英。3.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第一支管与该外管约成90度。4.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第一气体包括氧气。5.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第二支管与该第一内管约成90度。6.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第二气体包括氢气。7.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第二气体包括氮气。8.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第三气体包括氧气。9.如申请专利范围第1项所述之外燃型气体注入器,其中该第三气体为氧气,而该第三气体之流量介于100sccm至1slm之间。10.一种外燃型气体注入器,包括:一外管,该外管具有一第一支管、复数个第一种外管喷出口与一第二种外管喷出口,且该外管之外壁上的一接合处接合有一球窝接合节,该球窝接合节的一最大横截面与该接合处的距离为d,而该第二种外管喷出口位于距该最大横截面为-d的该外管之外壁上,且该第二种外管喷出口向该球窝接合节倾斜一特定角度,而该些第一种外管喷出口位于该外管之前端,其中该第一支管更具有一外管输入口,该外管输入口用以导入一第一气体,该些第一种外管喷出口与该第二种外管喷出口用以喷出该第一气体;以及一内管,位于该外管之中,该内管具有一第二支管与一内管喷出口,且该内管喷出口位于该外管之前端,其中该第二支管更具有一内管输入口,该内管输入口用以导入一第二气体,该内管喷出口用以喷出该第二气体。11.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该外燃型气体注入器之材质为石英。12.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该第一支管与该外管约成90度。13.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该第一气体包括氧气。14.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该特定角度介于45度至60度之间。15.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该第二支管与该第一内管约成90度。16.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该第二气体包括氢气。17.如申请专利范围第10项所述之外燃型气体注入器,其中该第二气体包括氮气。图式简单说明:第一图所绘示为习知一种外燃型气体注入器的示意图;第二图所绘示为依照本发明之第一实施例,一种外燃型气体注入器的示意图;以及第三图所绘示为依照本发明之第二实施例,一种外燃型气体注入器的示意图。 |
