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发明名称
摘要
申请公布号
JP3300894(B2)
申请公布日期
2002.07.08
申请号
JP19900511158
申请日期
1990.08.09
申请人
发明人
分类号
B01J37/00;B05B5/08;C23C24/00;H01T19/00;H01T23/00;(IPC1-7):H01T23/00
主分类号
B01J37/00
代理机构
代理人
主权项
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