Apparatus and methode for inspecting surface of warpage panel for flexible device

摘要

본 발명은 휘어진 형태의 플렉시블 디바이스용 와피지 패널을 압축공기의 압력을 이용해 눌러서 표면이 평평하고 매끈한 정반의 상면에 평평하게 펴서 고정시킬 수 있도록 함으로써 와피지 패널 표면에 오목한 딤플들이 발생하지 않도록 할 수 있어, 검사 속도를 높이고 보다 안정적이고 정확한 검사가 이루어질 수 있도록 하는 플렉시블 디바이스 와피지 패널 표면 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.