| 摘要 |
숏 피닝 처리나 열처리, 질화 처리 등의 표면 처리를 실시한 처리재의 표면 처리 상태를, 온도 변화 등의 검사 환경의 영향을 작게 해서 정밀도 좋게 검사할 수 있음과 함께 인라인의 측정에 적용할 수 있는 표면 특성 검사 장치 및 표면 특성 검사 방법을 제공한다. 표면 특성 검사 장치(1)는, 교류 전원(10), 교류 브리지 회로(20) 및 평가 장치(30)를 구비하고, 교류 브리지 회로(20)는, 분배비 γ가 가변의 가변 저항(21), 기준 검출기(22) 및 검사 검출기(23)에 의해 구성되어 있다. 검사 검출기(23)는, 피검체 M의 표면 특성 검사 영역에 대향하도록 권회된 코일(23b)을 구비하고 있으며, 교류 전원(10)으로부터의 교류 전력을 코일(23b)에 공급함으로써 피검체 M에 와전류를 여기한다. 기준 검출기(22)에는 피검체 M과 동일 구조의 기준 검체 S를 배치하고, 검사 환경의 영향을 캔슬한다. |
