末端受动器组件

摘要

一种用于基材输送机械臂上的末端受动器组件被提供。在一实施例中，一用来在基材运送期间支撑一四边形基材的末端受动器组件包括一末端受动器其具有一设置在第一端的内缘支撑件及一设置在远端的第一外缘支撑件。该末端受动器的第一端是被设计来耦合至一机械臂连杆。该第一内缘支撑件具有一位在的面，其平行于且面向该第一外缘支撑件。边缘支撑件的此一结构将基材保持在该末端受动器上，藉以让基材在运送期间的滑移减至最小。在另一实施例中，侧向导件可被用来进一步强化基材沿着基材的边缘开放在内及外缘支撑件之间的捕捉性。