发明名称 | 双波混合于光折变晶体干涉装置 | ||
摘要 | 本发明系有关于一种双波混合于光折变晶体干涉装置,其系包括雷射光源、光折变晶体、待测物、反射镜以及光侦测器,雷射光源用以提供一连续之参考光,使得参考光透射光折变晶体而抵达待测物之表面,继而再由待测物之表面反射而成为信号光,信号光透过反射镜而透射光折变晶体,且信号光将与参考光于光折变晶体内形成相位光栅,俾供后续之参考光经由相位光栅而绕射,使得绕射之参考光与信号光干涉而进入光侦测器。 | ||
申请公布号 | TW200516231 | 申请公布日期 | 2005.05.16 |
申请号 | TW092131262 | 申请日期 | 2003.11.07 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 李朱育;施学兢 |
分类号 | G01B9/02 | 主分类号 | G01B9/02 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |