发明名称 应用于太阳能电池之矽基板的制造方法
摘要 一种应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其步骤首先系提供矽粉末,再以模具压胚以形成生胚体,最后将生胚体进行一烧结处理以形成矽基板,烧结处理之烧结温度范围为摄氏1050度至1400度,以矽粉末烧结基板的方式,除可降低矽基板的制造成本,并且可藉由烧结制程参数与原料粉末之成分的调整来控制矽基板的烧结密度和成分,直接为未来披覆的薄膜材料做机能性的搭配。
申请公布号 TWI233213 申请公布日期 2005.05.21
申请号 TW093103229 申请日期 2004.02.11
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 赖明雄;温志中;邱思议;郑楚丕;陈泓政
分类号 H01L31/0248 主分类号 H01L31/0248
代理机构 代理人
主权项 1.一种应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其步骤包含有:提供一矽粉末;压胚成型该矽粉末以形成一生胚;及将该生胚进行一烧结处理以形成一矽基板,该烧结处理之烧结温度系于摄氏1050度至1400度之间。2.如申请专利范围第1项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该矽粉末之制造方法系选自水喷雾、气喷雾及研磨方法。3.如申请专利范围第1项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该矽粉末的较佳粒径为30微米至100微米。4.如申请专利范围第1项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该压胚成型该矽粉末以形成该生胚的步骤之前,更包含一于该矽粉末中加入一黏结剂的步骤。5.如申请专利范围第4项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该黏结剂系占矽粉末1%至50%重量百分率。6.如申请专利范围第4项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该黏结剂系选自铝和铟金属微细粉末所组成的族群其中之一。7.如申请专利范围第4项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该黏结剂系为一高分子黏结剂。8.如申请专利范围第7项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该高分子黏结剂系选自硬脂酸、硬脂酸锌、硬脂酸锂与蜡粉所组成的族群其中之一。9.如申请专利范围第1项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该烧结处理系选自一真空烧结处理、一气氛烧结处理、一高压气氛烧结处理及一热压烧结处理其中之一。10.如申请专利范围第9项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该高压气氛烧结处理系使该生胚于2至5个大气压的高压气氛下进行烧结。11.如申请专利范围第10项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该高压气氛烧结处理之烧结温度系介于摄氏1250度至1400度。12.如申请专利范围第9项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该热压烧结处理系将生胚置于热压烧结炉,于5至20百万帕(Mpa)的压力下进行烧结。13.如申请专利范围第12项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该热压烧结处理之烧结温度为摄氏1100度至1300度。14.如申请专利范围第1项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,更包含一于该矽基板表面融渗一金属以封闭该矽基板表面孔隙的步骤。15.如申请专利范围第14项所述之应用于太阳能电池之矽基板的制造方法,其中该金属系选自铝及铟所组成之族群其中之一。图式简单说明:第1图为矽粉末之水喷雾制造装置示意图;及第2图为本发明实施例的制造流程图。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号