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经营范围
发明名称
Apparatus and method for forming polymer thin film with cyclic deposition
摘要
申请公布号
KR100521698(B1)
申请公布日期
2005.10.14
申请号
KR20030087488
申请日期
2003.12.04
申请人
发明人
分类号
C23C16/00;(IPC1-7):C23C16/00
主分类号
C23C16/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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