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发明名称 METHODE DE PROTECTION D'UNE PARTIE D'UN SUBSTRAT SOUMIS A L'ACTION D'1N FAISCEAU ELECTRONIQUE
摘要
申请公布号 BE794343(A1) 申请公布日期 1973.07.19
申请号 BED794343 申请日期
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP., GATEWAY CENTER, PITTSBURGH, PENNSYLVANIA (E.U.A.), 发明人 L. SCALA;D.F. CILIBERTI.
分类号 G03F7/038;G03G15/05;H01L21/027;H01L23/29;(IPC1-7):05K/ 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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