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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATEN MIT VERBUNDENEN LEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2358495(A1) 申请公布日期 1974.07.18
申请号 DE19732358495 申请日期 1973.11.23
申请人 HITACHI LTD., TOKIO 发明人 TOMOZAWA, AKIHIRO, KODAIRA, TOKIO;NAKATA, KENSUKE, TOKOROZAWA, SAITAMA;KIKUCHI, AKIRA;AGATSUMA, TAKASHI;KODAIRA, TOKIO
分类号 H05K3/28;H01L21/3063;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/522;(IPC1-7):H01L1/14 主分类号 H05K3/28
代理机构 代理人
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