| 发明名称 |
Method for obtaining uniform concentration of hydrogen in semiconductors and the device making it possible to obtain uniform concentration of hydrogen in semiconductors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL222749(B1) |
申请公布日期 |
2016.09.30 |
| 申请号 |
PL20130405990 |
申请日期 |
2013.11.08 |
| 申请人 |
INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUK |
发明人 |
MYCIELSKI ANDRZEJ;KALISZEK WOJCIECH |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/22;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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