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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG IN DER TECHNIK DER INTEGRIERTEN INJEKTIONSLOGIK
摘要
申请公布号 DE2558925(A1) 申请公布日期 1976.07.08
申请号 DE19752558925 申请日期 1975.12.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 TOKUMARU,YUKUYA;NAKAI,MASANORI;SHINOZAKI,SATOSHI;NAKAMURA,JUNICHI;ITO,SHINTARO;NISHI,YOSHIO
分类号 H01L21/033;H01L21/8226;H01L27/02;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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