| 摘要 |
새로운 대칭형 z축 멤스 자이로스코프가 제공된다. 이러한 멤스 자이로스코프는, 바닥 웨이퍼기판에 대해 평행하게 배치되는 센서 프레임; 상기 센서 프레임에 대해 상대적인 움직임을 가지며, 가진모드에서 1자유도로 가진되는 센서 질량체; 및 상기 센서 질량체에 외부의 각속도가 입력될 때 코리올리 힘에 의해, 감지모드에서 1자유도로 상기 센서 질량체의 변위를 감지하는 적어도 1개의 감지 전극을 포함하되, 상기 센서 질량체는 2개의 질량체 유닛으로 이루어지고, 상기 2개의 질량체 유닛은 서로간에 선대칭 형태로 배치되며, 상기 2개의 질량체 유닛 사이에 직접적 또는 간접적으로 연결된 역위상 링크 기구에 의해 상기 2개의 질량체 유닛의 역위상 움직임이 유지된다. |
