发明名称 SEMIICONDUCTOR WAFER PROCESSING
摘要
申请公布号 JPS5234666(A) 申请公布日期 1977.03.16
申请号 JP19750094043 申请日期 1975.07.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 MATSUBARA HIDEAKI;KATOU KOUKI;TSUCHIYA YOSHIKAZU
分类号 H01L21/223;H01L21/22;H01L21/314 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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