发明名称 SPIN COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPS52123172(A) 申请公布日期 1977.10.17
申请号 JP19760039690 申请日期 1976.04.08
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 SATOU MASATOSHI;FUJII ITSUO
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03C1/74;G03F7/16;H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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