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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53157668(U) 申请公布日期 1978.12.11
申请号 JP19770062081U 申请日期 1977.05.17
申请人 发明人
分类号 G01L1/18;H01L29/84;H01L45/00;(IPC1-7):H01L45/00 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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