发明名称 PROCEDE DE CROISSANCE D'UN FILM MONOCRISTALLIN SUR UN SUBSTRAT QUAND IL Y A NON CONCORDANCE ENTRE LES MATERIAUX CONSTITUTIFS DU FILM ET DU SUBSTRAT ET STRUCTURE EN RESULTANT
摘要 PROCEDE DE CROISSANCE D'UN FILM MONOCRISTALLIN SUR UN SUBSTRAT QUAND IL Y A NON CONCORDANCE ENTRE LES MATERIAUX CONSTITUTIFS DU FILM ET DU SUBSTRAT ET STRUCTURE EN RESULTANT.UN SUBSTRAT MONOCRISTALLIN 10, TYPIQUEMENT EN CHLORURE DE SODIUM, EST D'ABORD RECOUVERT EPITAXIALEMENT PAR DEPOT SOUS VIDE, D'ILOTS 12 EN NICKEL DE FORME HEMISPHERIQUE, PUIS PAR DEPOT EPITAXIAL SOUS VIDE D'UNE COUCHE D'ARGENT MONOCRISTALLINE 13, SUIVIE PAR LE DEPOT EPITAXIAL SOUS VIDE D'UNE COUCHE MONOCRISTALLINE D'OR 14. L'UTILISATION DES ILOTS INTERMEDIAIRES PERMET DE REDUIRE CONSIDERABLEMENT LES DEFAUTS PRODUITS PAR LA NON-CONCORDANCE DES MATERIAUX.APPLICATION NOTAMMENT A L'INDUSTRIE DES SEMI-CONDUCTEURS, OU CE PROCEDE PEUT ETRE UTILISE POUR LE DEPOT DE SILICIUM SUR DE L'ALUMINE.
申请公布号 FR2413126(A1) 申请公布日期 1979.07.27
申请号 FR19780033643 申请日期 1978.11.23
申请人 IBM 发明人 JOHN W. MATTHEWS ET WILLIAM M. STOBBS;STOBBS WILLIAM M
分类号 C30B23/02;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/363 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
地址