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发明名称
METHOD OF FORMING FINE PATTERN
摘要
申请公布号
JPS5511301(A)
申请公布日期
1980.01.26
申请号
JP19780069879
申请日期
1978.06.12
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KITAMURA TATEO;YONEDA YASUHIRO;KITAKOUJI TOSHISUKE
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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