| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5567143(A) |
申请公布日期 |
1980.05.21 |
| 申请号 |
JP19780140841 |
申请日期 |
1978.11.15 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OOMURA KAZUMICHI;KOIKE KATSUO |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/314;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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