发明名称 DETECTING METHOD FOR REFERENCE MARK POSITION BY ELECTRON BEAM EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPS55151207(A) 申请公布日期 1980.11.25
申请号 JP19790059102 申请日期 1979.05.16
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE;NIPPON ELECTRIC CO;NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 IWATATE KAZUMI;OGAWA TADAMASA;WATANABE NOBUMASA;SHIYUDOU TOMOKI;AOKI MASAMI
分类号 G01B15/00 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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