| 摘要 |
본 발명은, 가스 분위기 또는 액체 상태에서의 시료를 관찰하는 기능을 구비한 하전 입자선 장치에 있어서, 건조 상태의 시료에 액체를 도입해서 침윤되어 가는 상태를 관찰하는 것, 또한 격막과 시료 사이에 여분의 액체가 도입되어 하전 입자선이 산란되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은, 시료(6)의 하면 방향 또는 측면 방향으로부터 원하는 액체 또는 기체를 도입 또는 배출하는 도입/배출부(300)를 구비하며, 시료(6)와 격막(10)이 비접촉인 상태에서 1차 하전 입자선을 시료(6)에 조사(照射)하는 구성을 구비한다. |
