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发明名称 CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPS5653956(A) 申请公布日期 1981.05.13
申请号 JP19790130392 申请日期 1979.10.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IMANAKA SEIJI
分类号 B61D27/00;B61B3/02;F24F7/06;H01L21/02;H01L21/50;H01L21/677 主分类号 B61D27/00
代理机构 代理人
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