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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5633866(B2)	申请公布日期	1981.08.06
申请号	JP19750156845	申请日期	1975.12.27
申请人		发明人
分类号	H01L29/73;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/72	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
主权项
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