METHOD FOR MANUFACTURING METAL OXIDE FILM METAL OXIDE FILM THIN-FILM TRANSISTOR METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE

摘要

금속 질산염 및 용매를 포함하는 용액을, 가열한 상태의 기판 상에 잉크젯법에 의하여 부여하여 도포막을 형성하는 도포 공정과, 도포막에 대하여, 산소 농도가 80000ppm 이하인 분위기하에서 자외선 조사를 행함으로써 금속 산화물막으로 전화시키는 전화 공정을 포함하는 금속 산화물막의 제조 방법 및 그 응용이다.