センサ素子を備えたセンサ、および当該センサ素子の製造方法

摘要

本発明は、測定対象への距離に応じて変化するが一時的には一定である磁界を使用して経路または距離を測定する誘導センサのセンサ素子であって、薄い強磁性材料が基板に統合されたセンサ素子に関する。さらに、本発明は、当該センサ素子を含むセンサと、当該センサ素子の製造方法とに関する。【選択図】図３