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发明名称
PATTERN INSPECTING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03233349(A)
申请公布日期
1991.10.17
申请号
JP19900028027
申请日期
1990.02.07
申请人
NIPPON SEIKO KK
发明人
AOYAMA YOSHIYUKI
分类号
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G06T1/00
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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