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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5844852(U)	申请公布日期	1983.03.25
申请号	JP19810139710U	申请日期	1981.09.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78	主分类号	H01L21/301
代理机构		代理人
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