发明名称 FORMING METHOD OF ZINC OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS58156533(A) 申请公布日期 1983.09.17
申请号 JP19820036559 申请日期 1982.03.10
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 SHINPO MASARU
分类号 C01G9/02;C23C18/12 主分类号 C01G9/02
代理机构 代理人
主权项
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