| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR IMPROVING SENSITIVITY OF LEAKAGE DETECTOR USING CRYOPUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60230029(A) |
申请公布日期 |
1985.11.15 |
| 申请号 |
JP19850073656 |
申请日期 |
1985.04.09 |
| 申请人 |
AIR PROD & CHEM INC |
发明人 |
RARUFU KIYADEI RONGUSUWAASU |
| 分类号 |
F04B37/08;G01M3/20;H01J49/04 |
主分类号 |
F04B37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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