| 摘要 |
본 발명은, 객체(52)를 파지하고, 위치 결정하고, 그리고/또는 이동시키기 위한 장치에 관한 것이며, 상기 장치는 - 베이스(30)와, 이 베이스(30)에 상대적으로 이동 가능한 캐리어(50)와, - 베이스(30) 상에서 캐리어(50)를 비접촉 방식으로 지지하는 적어도 3개의 자기 베어링(10, 100)을 포함하고, - 자기 베어링(10, 100)들 중 적어도 2개의 자기 베어링은 능동 제어형 자기 베어링(10, 100)으로서 형성되며, 그리고 그 각각은 전기 제어될 수 있으면서 상대 부재(18)와 자기적으로 상호작용하는 전자기 액추에이터(12)를 포함하고, 이 전자기 액추에이터는 베이스(30)와 캐리어(50) 간의 사전 설정된 이격 간격의 준수를 위해 전자 유닛(15)에 의해 능동 제어될 수 있으며, - 자기 베어링(10, 100)들의 적어도 2개의 전자기 액추에이터(12) 및 전자 유닛(15)은 캐리어(50) 상에 배치된다. |
