METHOD FOR FORMING INSULATING FILM AND SILICON DIOXIDE FINE PARTICLE DISPERSION USED THEREIN

摘要

(과제) 균일하고 높은 충전 밀도를 가지고, 또한 결함이 적은 절연막을 형성할 수 있는 방법의 제공. (해결 수단) 기판 표면에 이산화규소 미립자와, 중합체와, 계면활성제와, 분산매를 함유하는 이산화규소 분산액을 도포하고, 이어서 폴리실라잔 조성물을 도포한 후, 가열하여 절연막을 형성시키는 절연막의 형성 방법.