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发明名称 OPTICAL DISPLACEMENT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6365316(A) 申请公布日期 1988.03.23
申请号 JP19860209194 申请日期 1986.09.05
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 TOIKAWA NORIHITO;SAKAGAMI SEIJI;NAGAI MAKOTO
分类号 G01B11/00;G01D5/36 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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