发明名称 |
TRIMMING WIRING IN SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6373639(A) |
申请公布日期 |
1988.04.04 |
申请号 |
JP19860217146 |
申请日期 |
1986.09.17 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMAZAKI KOICHI;KAMEGAKI KAZUYUKI;SATO TETSUO |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/268;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|