| 摘要 |
입자 감소 방법 및 시스템을 개시한다. 상기 입자 감소 방법은 주입기 챔버에 공급된 유동량 정보를 습득하는 a)단계, 상기 공급된 유동량 정보를 평가/해석하고 상기 필터 벨트를 위한 운영 모드를 선택하는 b)단계, 상기 주입 챔버 내에 유동량 레벨의 정보를 습득하는 c)단계, 상기 필터 벨트용 구동 수단들을 위한 가속 시간, 지연 및 지체 시간을 결정하는 것에 의해 선택된 운영 모드에 영향을 미치도록 상기 주입 챔버안의 상기 유동 레벨로부터 정보를 사용하는 d)단계, 상기 a)단계 부터 d)단계 까지의 정보에 기반한 세팅들과 함께 상기 구동 수단들을 상기 필터 벨트에 제공하는 e)단계, 상기 구동 수단들을 위한 상기 세팅들을 계속적으로 조절하는 상기 필터 벨트의 상태 및 상기 구동 수단들의 상태 정보를 습득하는 f)단계 및 상기 단계 a)단계 부터 f)단계를 계속적으로 반복하는 g)단계를 포함한다. |
