发明名称 改良之树枝状薄膜生长用之盖
摘要
申请公布号 TW102850 申请公布日期 1988.08.21
申请号 TW077201585 申请日期 1987.07.29
申请人 艾巴拉索拉股份有限公司 发明人 艾德格.伦纳德.謢奇卡;里蒙.乔治.赛敦史提克;保罗.安东尼.比奥特斯奇;查理士.史杜维特.敦肯
分类号 C30B35/00 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1.一内有熔融结晶物质的感应器之盖,其特征为前述盖之形式为具有一内板面和一外板面及安装在中央以供拉出主要为前述物质的单晶树枝状薄膜之狭缝,一对毗邻安装于前述狭缝的两相对端并与之排成直线之开口,以及一延伸于前述狭缝与每个开口间并自外板面向内伸延到邻近于前述盖的内板面之沟,因而前述狭缝,开口及沟共同控制自前述树枝状薄膜辐射之热以于接近前述盖的内板面之树枝状薄膜上产生一般为均匀的温度分布。2.依申请专利范围第1.项的盖,其特征为每个狭缝在其尾端都具有放大的部位且一般为狗骨形。3.依申请专利范围第2.项的盖,其特征为放大的部位皆为圆形的。 I4.依申请专利范围第1 、2或3 项的盖,其特征为狭缝及开口系自其外板表面对应打孔。图式简单说明:图1 是用于形成矽熔化体以抽出单晶树枝状薄膜的感应器之盖的部份等角图;图2 及3 是矽熔化体及树枝状薄膜的热幅射散失之示意图;图4 是依照本创作之感应器盖的平面图;图5 是取图2 中线Ⅲ—Ⅲ的剖面图;图6 是示于图1 及2 中的狭缝开口及沟的部份等角图;以及图7 是另一实施例之部份等角图。
地址 美国