发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6432669(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870187517 申请日期 1987.07.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMANAKA TOSHIAKI;SAKAI YOSHIO;MEGURO SATOSHI;SASAKI KATSURO;MOTOYOSHI MAKOTO
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L21/8244;H01L27/08;H01L27/10;H01L27/11 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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