位置检测器

摘要

涉及使被支承为能够细微摆动自如的检测针的末端与对象物接触来计量与对象物的位置关系的位置检测器，在检测针的长度为80～100mm以上的位置检测器中，实现±0.1μm左右的计量精度。对通过支承检测针的球体与球体、圆筒体或平面之间的接触而产生的支承点进行DLC（类金刚石碳）涂覆，并且将弹簧对各触点的按压力设定为10N（牛顿）以下。对具有80mm以上的长度的检测针的末端实现±0.1μm左右的重复计量精度。

主权项

一种位置检测器，其具备：多个支承点，它们用于限定检测针的静止位置；以及弹簧，其对检测针的基部朝向该支承点施力，来使检测针复位到所述静止位置，所述位置检测器的特征在于，在形成所述支承点的部件的表面形成有类金刚石碳薄膜。