包括二独立电感器之加热装置

主权项

1﹒一加热装置,其包含一高频产生器,及至少二连接至该高频产生器俾以感应方式加热工作之电感器,其中每一电感器系由一包含高磁导率线圈心子之感应线圈所构成,各线圈心子可相互独立被移位,其特征为:该加热装置包含至少一检测器以检测在感应加热过程中之至少一制程参数,且该加热装置另包含移位装置,俾因应自各检测器发出之检测讯号而将各线圈心子移置,进而使电源传送开通及关闭。2﹒根据申请专利范围第1项之加热装置,其中该移位装置实质上乃轴向移置各线圈心子。