| 发明名称 |
PRODUCTION OF DIAMOND-CONTAINING OR HARD CARBON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01261214(A) |
申请公布日期 |
1989.10.18 |
| 申请号 |
JP19880087980 |
申请日期 |
1988.04.08 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
OWAKI TAKESHI;TAGA YASUNORI |
| 分类号 |
C01B31/02;C01B31/36;C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04 |
主分类号 |
C01B31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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